Naprava za čiščenje vode EDI za pol{0}}prevodnike

Naprava za čiščenje vode EDI za pol{0}}prevodnike je običajno del sistema Ultra Pure Water (UPW). V tem kontekstu je EDI »korak poliranja za-odstranjevanje ionov« po RO, ki vam pomaga doseči izredno nizko prevodnost-nato pa dodatno poliranje UPW odstrani TOC, silicijev dioksid/bor, raztopljene pline, bakterije in delce, da izpolni zahteve tovarne.

Tradicionalne plasti ionske izmenjevalne -smole v tovarnah polprevodnikov večinoma nadomešča EDI zaradi številnih ključnih tehničnih prednosti:

• Ničelno ionsko uhajanje: za razliko od standardnih smolnih plasti, ki lahko "puščajo" ione, ko se izčrpajo, EDI zagotavlja stalen tok visoke-čistosti, ker se smola neprestano regenerira z električnim poljem.
• Okolje-brez kemikalij: Polprevodniki potrebujejo neverjetno stabilno okolje. EDI uporablja elektriko namesto nevarnih kislin in jedkih snovi, kar odpravlja tveganje kemičnih hlapov ali nenamernih razlitij, ki bi lahko onesnažila zrak v čisti sobi.
• Nizek TOC in odstranjevanje silicijevega dioksida: EDI je zelo učinkovit pri odstranjevanju šibko ioniziranih vrst, kot sta silicijev dioksid ($SiO_2$) in bor, ki ju je znano, da je težko odstraniti, vendar so uničujoči za izkoristek polprevodnikov.
• Modularna razširljivost: polprevodniške "tovarne" so ogromne. Sistemi EDI so modularni in inženirjem omogočajo povečanje ali zmanjšanje proizvodnje vode, da se ujemajo s številom orodij za litografijo ali jedkanje, ki delujejo.

V obratu za polprevodnike je obrat EDI "srce" polirne zanke, ki se nahaja med stopnjo reverzne osmoze (RO) in končno točko--uporabe filtrov:

• Primarna obdelava (dvo{0}}prehodna RO): odstrani 99 % kontaminantov v razsutem stanju. Visoko{3}}kakovosten permeat iz drugega prehoda RO služi kot napajalna voda za EDI.
• Razplinjevanje: Odstrani raztopljeni $O_2$ in $CO_2$. To je ključnega pomena, ker lahko raztopljeni plini povzročijo mehurčke na površini rezin in motijo ​​učinkovitost EDI.
• Modul EDI: Voda je polirana na 15–18 M$\\Omega$·cm. Električno polje zagotavlja, da ionska-izmenjalna smola ostane v trajno "nabitem" stanju.
• UV in ultrafiltracija (UF): Končno "poliranje" pri 18,5 nm ali 254 nm UV valovnih dolžinah za uničenje vseh sledov organskih snovi (TOC) in UF membrane za lovljenje preostalih pod-mikronskih delcev.

• Dovod v EDI mora biti zelo čist: nizka trdota, nizko tveganje za nastanek lusk na silicijevem dioksidu, malo oksidantov (klor), nizek SDI.
• Razplinjevanje (odstranitev CO₂) pogosto izboljša upornost in zmanjša obremenitev EDI.
• Materiali in higiena: zanke UPW običajno uporabljajo materiale visoke-čistosti (npr. PVDF/PFA/EP-razred SS, odvisno od specifikacije) in stalno recirkulacijo za preprečevanje kontaminacije.
• Spremljanje: upornost, TOC, silicijev dioksid, DO, število delcev, pretok/tlak, temperatura-plus alarmi/trendi.

Če mi poveste te 4 elemente, lahko predlagam primerno napravo za čiščenje vode EDI za pol-prevodnik:

• Zahtevani pretok UPW (m³/uro ali m³/dan)
• Vir surove vode + TDS/silicijev dioksid (če je znan)
• Uporaba: fab UPW (proces) v primerjavi s pripomočki (pralnik/hlajenje)
• Vse ciljne specifikacije, ki jih morate izpolniti (upornost/TOC/silicijev dioksid/delci)

Priljubljena oznake: naprava za čiščenje vode edi za polprevodnike, Kitajska naprava za čiščenje vode edi za pol{1}}prevodnike proizvajalci, dobavitelji, tovarna